材料名称
分子式 Sc
常规纯度 99.95%
尺寸规格 圆靶、方靶、柱靶、台阶靶、定制
密度(g/cm3) 2.99
熔点(℃) 1541
热导率(W/m·K) 16
热膨胀系数 12.0×10^(-6)
溅射电源 直流
bonding类型 铟,导电胶
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