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高纯硅靶（Si）

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材料名称 硅
分子式 Si
常规纯度 99.999%
尺寸规格 圆靶、方靶、柱靶、台阶靶、定制
密度(g/cm3) 2.33
熔点（℃） 1414
热导率（W/m·K) 150
热膨胀系数 2.6×10^(-6)
莫氏硬度(Mohs) 2.6
溅射电源 直流， 射频
bonding类型 铟，导电胶
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Address/地址：江苏省常州市武进区长帆路12-6号
Tel/联系电话：0519-83887025/15380051078
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