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高纯铂靶（Pt）

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材料名称 铂
分子式 Pt
CAS 7440-6-4
常规纯度 99.99%
尺寸规格 圆靶、方靶、柱靶、台阶靶、定制
密度(g/cm3) 21.45
熔点（℃） 1768
热导率（W/m·K) 72
热膨胀系数 8.8×10^(-6)/K
莫氏硬度(Mohs) 4.3
溅射电源 直流
bonding类型 铟，导电胶
注1 与金属易形成合金；薄膜柔软，附着力差；达到沉积所需的温度较高不太适用于热蒸发。
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